Технология полупроводникового кремния
Э.С.Фалькевич, Э.О.Пульнер, И.Ф.Червоный, Л.Я.Шварцман, В.Н.Яркин, И.В.Салли.
Изложены физико-химические основы технологии полупроводникового кремния, рассмотрены свойства технологических материалов> влияние структурных несовершенств и термической обработки на электрофизические и физико-химические свойства кремния. Описаны процессы получения кремния и оборудование, в том числе вакуумное и криогенное. Рассмотрены способы получения кремния с заранее заданными свойствами, приведены области его применения. Значительное внимание уделено контролю качества продукции, технике безопасности в кремниевом производстве.Для инженерно-технических работников и специалистов полупроводниковой промышленности. Может быть полезна студентам вузов, обучающимся по соответствующим специальностям.
ক্যাটাগোরিগুলো:
সাল:
1992
প্রকাশক:
Металлургия
ভাষা:
russian
পৃষ্ঠা:
203
ISBN 10:
5229007400
ISBN 13:
9785229007405
ফাইল:
DJVU, 5.93 MB
IPFS:
,
russian, 1992
Litres
বুক স্টোর যোগ করতে চান? support@z-lib.do এ আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন
File converter
অনুসন্ধানের আরো ফলাফল
More benefits 
